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目前市場上所有的去膠方式中，用等離子去膠是相對簡單的一種。

等離子去除光刻膠，一般要用到等離子去膠機(jī)，它是專業(yè)等離子去除光刻膠的機(jī)械設(shè)備，等離子去除光刻膠的工作方法是這樣的：

等離子去膠機(jī)通過把O?變成氧原子的等離子，然后把氧原子和抗腐蝕劑中的C原子及H原子快速反應(yīng)。生成CO、CO?和H?O三種化合氣體。最后順流去膠臺中進(jìn)行去除光刻膠。

金徠等離子去膠機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體去除光刻膠、殘膠，以及線路板的殘膠；在去膠過程中對器件損傷低，可以一次性解決用戶的需求。 

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